由于行業內人們看問題的方法不同，超聲波發生器的分類方法也不盡相同，大多數以產生頻率的方式來分類，歸納起來有兩種，自激式超聲波發生器和他激式超聲波發生器。

(1)自激式超聲波發生器

自激式超聲波發生器不要求專設振蕩器，不需要啟動電路，大功率開關管兼作振蕩管，超聲波換能器本身是一個容性元件，外加電感后組成一個串聯諧振電路。接通電源后，電路會自激振蕩，并將振蕩信號反饋給大功率開關管，經開關管放大后再送給諧振電路，整個電路是一個閉環回路。發生器產生足夠的功率，使換能器自動保持諧振。

自激式超聲波發生器電路簡單，體積大，出力不夠穩定，適合小功率發生器的清洗應用，也可與單元電路并聯組合，驅動大功率換能器。

(2)他激式超聲波發生器

他激式超聲波發生器主要包括兩個部分：一個是前級振湯器，一個是后級功率放大器。利用振蕩器產生的開關脈沖控制開關管的導通與截止，并通過輸出變壓器耦合，把超聲能量傳遞到換能器上。

他激式發生器比自激式發生器的電路結構要復雜，但產生的信號頻率穩定，可以在較寬的范圍內調節，控制靈活，特別是采用末級開關式輸出，效率高，功率大。